真空系統(tǒng)的簡單介紹及部分名詞

真空系統(tǒng)其實(shí)就是真空機(jī)組的一個類似的稱呼，真空機(jī)組是由幾種真空泵組合而成的一套閉環(huán)真空設(shè)備，它不見得有一些諸如散熱器，冷凝器等等設(shè)備存在。而一般能稱為真空系統(tǒng)的肯定是各種零部件齊全。真空應(yīng)用設(shè)備種類繁多，但無論何種真空應(yīng)用設(shè)備都有一套排除被抽容器內(nèi)氣體的抽氣系統(tǒng)，以便在真空容器內(nèi)獲得所需要的真空條件。舉例來說：一個真空處理用的容器，用管道和閥門將它與真空泵連接起來，當(dāng)真空泵對容器進(jìn)行抽空時，容器上要有真空測量裝置，這就構(gòu)成了一個簡單的真空抽氣系統(tǒng)。那么真空系統(tǒng)相比較于機(jī)組來說有多少泵組成呢？這個是不確定的，我們先來認(rèn)識一下可能存在的泵的名詞解釋。

(1)主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。

(2)前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強(qiáng)低于其臨界前級壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。

(3)粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵，就是粗油泵。

(4)維持泵：在真空系統(tǒng)中，氣量很小時，不能有效地利用前級泵。真空腔體及零組件為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作，此泵叫維持泵。如擴(kuò)散泵出口處配一臺小型旋片泵，就是維持泵。